在半导体产业蓬勃发展的当下，水已成为关键要素。现代半导体晶圆厂对超纯水的需求巨大，每小时需多达460立方米水，新厂每日用水3800-11400立方米，部分地区甚至更多。然而，水资源紧张与成本攀升成为行业难题。
好消息是，半导体生产废水回收利用迎来创新解决方案！通过特定策略，不仅能有效应对这些挑战，还能为企业带来诸多优势。从财务角度看，废水回收再利用成本低于原水净化成本，投资回报率高。环境方面，促进了行业可持续发展，彰显企业环保担当，也有助于维护良好的社区关系。在实际操作中，水回用策略主要包括提高超纯水系统效率、回收系统用水、进行环境友好设计等。例如，先进的晶圆厂已实现高达85%的回收率，而行业平均水平也在不断提升。
关键技术环节上，梅特勒托利多的分析传感器发挥着重要作用。在TOC在线测量方面，其6000TOCi分析仪响应快、流速优化，能实时监测控制废水，依据不同环节TOC限值精准分流处理，避免系统过载，保障回收效率。电导率测量时，多种专用电极材料的传感器，在废水处理、再利用及回生产设备各阶段，确保水质达标，防止设备故障，满足晶圆厂多样需求。
